一線精餾裝置。青海日報記者 宋翠茹攝

企業(yè)相關負責人介紹低溫傅立葉變換紅外光譜儀。青海日報記者 宋翠茹攝

一線還原爐車間 。青海日報記者 宋翠茹攝

2022年3月18日，國家電投黃河公司新能源分公司還原分場一線電子級多晶硅生產(chǎn)還原車間，2號還原爐的小“望窗”內，爐火正旺，多晶硅棒正在生成，已見雛形。

透過爐外“望窗”，記者看到了這一現(xiàn)代科技的壯觀景象。生產(chǎn)車間工段長俞朝介紹說：還原爐內溫度一般為1050℃，從投料到硅棒出爐需要125個小時，這個車間每爐產(chǎn)量可達1噸。旁邊1號還原爐，兩名“全副武裝”的工作人員正在清理爐子，為下一爐多晶硅生成和出爐緊張有序地準備著。

“與往年相比，今年一季度的訂單量大幅增長，提振了全年銷售工作的信心?！?國家電投黃河公司新能源分公司營銷總監(jiān)王鵬說。得益于產(chǎn)品質量與品牌優(yōu)勢，國家電投黃河公司新能源分公司的訂單量實現(xiàn)逐年上揚，2022年首季度,電子級多晶硅銷量同比大幅增長，8-12英寸硅片應用占比超過60%，電子級產(chǎn)品高端市場應用份額持續(xù)擴大，并與國內多家知名集成電路硅片制造商簽訂了多年框架協(xié)議。

創(chuàng)新賦能 成就科技“小巨人”

企業(yè)的拳頭產(chǎn)品——電子級多晶硅就是企業(yè)堅持創(chuàng)新賦能、攻破“卡脖子”技術難關的碩果。

不久前，國家電投黃河公司新能源分公司“電子級多晶硅成套制備技術的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目獲得了青海省科學技術進步獎一等獎。在集成電路行業(yè)高速發(fā)展和實現(xiàn)國產(chǎn)替代的大背景下，持續(xù)向好的成績?yōu)槠髽I(yè)突破壁壘、搶抓機遇的前進步伐增添了不少信心。

從引進國內外設備和先進技術到企業(yè)開始自主研發(fā)，再到年產(chǎn)值上千萬元，如今這家企業(yè)已經(jīng)成長為細分領域的行業(yè)“小巨人”，其生產(chǎn)的電子級多晶硅純度已經(jīng)達到99.999999999%，經(jīng)過一系列嚴格的產(chǎn)品測試和客戶驗證后，可以用于極大規(guī)模集成電路用12英寸單晶制造，企業(yè)用實力書寫了自己的奇跡。

然而，成功絕非偶然。創(chuàng)新、精益求精是國家電投黃河公司新能源分公司14年來穩(wěn)步成長的內核詮釋。

實現(xiàn)極大規(guī)模集成電路用高純電子級多晶硅國產(chǎn)化的歷程有多艱辛，中間的路有多遠，要跨越多少技術關卡，多晶硅企業(yè)是如何突破長期被國外壟斷的電子級多晶硅生產(chǎn)核心技術，國家電投黃河公司新能源分公司給出了答案。

“電子級多晶硅是一種高純的硅材料，因其純度要求達到11N以上，因此要比光伏級多晶硅純度至少提高2-3個數(shù)量級，兩者之間存在顯著的品質差異。突破電子級多晶硅核心技術，關鍵還是技術創(chuàng)新，優(yōu)化改進生產(chǎn)技術和質量控制技術，在產(chǎn)品生產(chǎn)制造、裝置穩(wěn)定運行等各環(huán)節(jié)的過程控制上做到精益求精，并通過成百上千次的科學實驗，才能生產(chǎn)出合格、適銷對路的電子級多晶硅產(chǎn)品，實現(xiàn)電子級多晶硅國產(chǎn)化的戰(zhàn)略目標。”國家電投黃河公司新能源分公司質量保證部主任李海霞告訴記者。

深耕市場 推動產(chǎn)業(yè)化進程

為了占據(jù)市場主動權，企業(yè)采取延長產(chǎn)業(yè)鏈和打造自主品牌“兩條腿”走路的方式，持續(xù)推進企業(yè)多元化布局和轉型。

記者了解到，電子級多晶硅產(chǎn)品需要得到下游廠家的認可，而下游用戶看中的是產(chǎn)品質量的穩(wěn)定性，這對企業(yè)來說，本身就有很大挑戰(zhàn)。

李海霞說，企業(yè)目前已擁有了副產(chǎn)物四氯化硅高效循環(huán)利用技術、三氯氫硅氣體分離提純技術、高純多晶硅制備和質量控制技術等一系列核心自主技術，實現(xiàn)了微電子單晶用多晶硅產(chǎn)品的規(guī)?；a(chǎn)。

數(shù)十年的深耕細作，加上先進的管理技術和優(yōu)質的產(chǎn)品及服務，如今，國家電投黃河公司新能源分公司在行業(yè)有著舉足輕重的地位。近3年來，是國內唯一一家批量生產(chǎn)并銷售集成電路用電子級多晶硅的企業(yè)，產(chǎn)品質量達到國際先進水平，目前國內市場占有率達20%。

企業(yè)實現(xiàn)高質量發(fā)展，自主創(chuàng)新是引領，核心技術是關鍵。自創(chuàng)立以來，國家電投黃河公司新能源分公司始終把科技創(chuàng)新作為發(fā)展之本，聚焦產(chǎn)業(yè)引領、人才驅動，關注行業(yè)技術難題與“卡脖子”技術攻關，推動技術成果產(chǎn)業(yè)化進程，用技術創(chuàng)新創(chuàng)造企業(yè)效益。

加大投入 引領行業(yè)新高度

在國家電投黃河公司新能源分公司的檢測中心——青海芯測科技有限公司，記者和技術員進入作業(yè)區(qū)之前，需要經(jīng)過換裝、除塵等程序，通過多道風淋門才能進入不同等級的無塵室。

“事關產(chǎn)品品質，生產(chǎn)高純度多晶硅材料，對環(huán)境要求極其苛刻。環(huán)境越潔凈，測試出來的電子產(chǎn)品能達到的精密度也就越高。”青海芯測科技有限公司檢測中心主任薛心祿說。

這背后，是國家電投黃河公司高額的投入，特別是先進設備的投入。在這個面積1543平方米的檢測中心，配備了區(qū)熔單晶爐(FZ-100)，低溫紅外光譜儀，氣相色譜質譜聯(lián)用儀，少數(shù)載流子壽命測試儀等設備50多臺(套)，80%為國外先進設備，核心檢測設備屬國內首臺，設備總投資達4000多萬元。

薛心祿還表示，依托實驗室信息化建設和青海省新能源材料與儲能技術重點實驗室、集成電路硅材料省級工程研究中心2個省級創(chuàng)新平臺，企業(yè)開展了自主研發(fā)創(chuàng)新，引進消化吸收再創(chuàng)新及產(chǎn)學研合作等多模式創(chuàng)新，匯聚多方創(chuàng)新力量，營造良好創(chuàng)新生態(tài)，不斷鞏固和提升自身創(chuàng)新能力。

一分耕耘，一分收獲。該企業(yè)已經(jīng)成功突破電子級多晶硅生產(chǎn)核心技術，徹底打破國外市場壟斷，保障了我國集成電路硅材料產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略安全。累計申請專利41件，其中獲得發(fā)明專利授權5件，受理發(fā)明專利6件，主持/參編國家、行業(yè)及團體標準16部，在國內同行業(yè)中處于領先地位。

作為青海制造的參與者，李海霞認為用品質鍛造的品牌，終會得到市場認可。她言辭堅定：“我們要做電子級多晶硅硅材料領域的佼佼者，這個目標從未改變!為此，我們要以技術創(chuàng)新為先，打造高品質產(chǎn)品，讓‘青海制造’從國內走向國際，讓青海的品牌更響亮，讓更多人通過品牌更加了解青海?！?/p>

關鍵詞： 集成電路 核心技術 檢測中心